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Info message

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Cleanroom facilities

LMN cleanroom facilities are available for sample preparation and device fabrication. The cleanrooms combined cover 320m2 and are professionally equipped for various kinds of sample preparation and characterization. This includes photolithography, nanoimprint and e-beam lithography, as well as, associated environments for handling chemicals, wet and dry etching, and material deposition. The characterization of the samples is done with scanning electron microscopes, a scanning probe microscope, a profilometer, as well as with a variety of optical microscopes. This way, our experimental samples and devices can be prepared and characterized efficiently in a clean environment directly before measurements.

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Contact

Simon Gerber

Laboratory for Micro-
and Nanotechnology
Paul Scherrer Institut
5232 Villigen PSI
Switzerland

Telephone:
+41 56 310 3965
Telefax:
+41 56 310 2646
E-mail: simon.gerber@psi.ch

SwissFEL

IR Beamline at SLS

Quantum Technologies Collaboration at PSI (QTC@PSI)

A nucleation point of PSI competences towards the quantum technology initiative
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Fussbereich

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Forschungsstrasse 111
5232 Villigen PSI
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